雙級旋片式真空泵是一種高效、精密的容積式真空設備,通過兩級串聯的旋片結構實現氣體分級壓縮與抽排,廣泛應用于真空鍍膜、電子半導體、食品包裝、化工制藥等領域。其核心優勢在于通過雙級壓縮顯著提升極限真空度(可達≤6×10?²Pa),同時降低單級負荷,延長使用壽命。
該泵由泵體、轉子、旋片、端蓋及彈簧等部件構成。轉子偏心安裝于泵腔內,其槽中嵌有兩片可滑動的旋片,彈簧使旋片頂端始終緊貼泵腔內壁。運轉時,轉子旋轉帶動旋片滑動,將泵腔分隔為高級(高真空級)和低級(低真空級)兩個工作腔。氣體從進氣口進入高級腔,經壓縮后部分直接排出,部分通過級間通道進入低級腔二次壓縮,最終從低級排氣閥排出。這種分級壓縮設計使雙級泵的壓縮比遠高于單級泵,從而獲得更深的真空。
1、泵體
作用:作為整個裝置的外殼和主體框架,容納其他內部組件并形成密閉的工作腔室。
特點:通常采用黑色金屬制造,具有較高的精密度和耐腐蝕性。
2、轉子
安裝方式:偏心地安裝在泵腔內,其外圓與泵體內壁保持微小間隙。
功能:通過旋轉帶動旋片運動,實現氣體的吸入、壓縮和排出循環。
3、旋片
數量與結構:一般為兩塊,嵌于轉子槽中,依靠彈簧張力和離心力緊貼泵腔內壁。
工作原理:將定子分隔為高、低兩個工作腔(即高級腔和低級腔),通過容積變化完成抽氣過程。當轉子轉動時,旋片隨動滑動,使一側容積擴大吸氣,另一側縮小排氣。
4、端蓋
位置與用途:位于泵體的兩端,用于封閉系統并支撐相關部件。
密封性:確保各連接處的氣密性,防止泄漏影響真空效果。
5、彈簧
作用機制:置于兩旋片之間,提供持續的壓力以維持旋片與泵壁的良好接觸。結合離心力共同保證運行穩定性。
6、排氣閥與輔助裝置
排氣通道:包括主排氣閥和輔助排氣閥,用于控制不同壓力下的氣體排放路徑。例如,在吸入壓強較高時,部分氣體直接從輔助閥排出;低壓時則通過級間通道進入低級腔再壓縮后排出。
氣鎮裝置(可選):允許抽除少量可凝性蒸氣(如水蒸氣),增強設備的適應性。
7、過濾與分離系統
粗過濾器:吸氣口處設有金屬絲網,阻擋固體顆粒進入泵內。
油分離器:內置高效油氣分離器及排氣過渡器,減少油霧污染并回收潤滑油。
8、冷卻系統(部分型號配備)
水冷設計:某些大型或高性能機型采用泵殼內通冷卻水的方式降低溫度,提升極限真空度和運行效率。