分子泵維修的操作要求：

　　1、分子泵的氣路接口的快接法蘭的螺桿應朝上，以防松弛造成漏氣;

　　2、不能在大氣狀態下開分子泵，必須在達到10Pa時才能打開其相應的高閥，開啟分子泵;

　　3、當M2(箱體2)或M7的真空度始終抽不到位時，應檢查旋片泵的電磁閥工作是否正常;

　　4、在開分子泵前必須打開冷卻水閥;在分子泵的葉輪停止運轉后，必須關閉冷卻水閥;

　　5、每次停機后，務必清潔各分子泵的進氣口處，使其保持干凈，以避免不必要的損壞;

　　6、當出現報警信息“EF”時，應檢查冷卻水路是否通暢，可用器槍檢查。確保水路順暢后，方可再次打開分子泵。而當出現其他報警信號時，嚴禁再次啟動分子泵，待后處理;

　　7、在分子泵出現問題而不能使用時，應暫停生產，手動充大氣后，更換備用的分子泵;

　　8、當始終達不到分子泵啟動條件時,應檢查前級泵和電磁閥工作是否正常;

　　9、當分子泵出現故障時,須根據故障提示作相應處理。

　　這種分子泵維修具體可分為：

　　1)牽引分子泵 氣體分子與高速運動的轉子相碰撞而獲得動量，被驅送到泵的出口。

　　2)渦輪分子泵 靠高速旋轉的動葉片和靜止的定葉片相互配合來實現抽氣的。這種泵通常在分子流狀態下工作。

　　3)復合分子泵 它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯組合起來的一種復合型的分子真空泵。